ガリウムヨウ化物ランプの安全な交換

ガリウムヨウ化物の置換：直接差し替え可能なアップグレード 本UVランプシステムは、半導体ウェーハのダイシング時に使用されるガリウムヨウ化物ランプとそのまま交換できるよう設計しました。目的は単純で、ウェーハ自体を過熱することなく、UV接着フィルムをウェーハ裏面から剥がすことです。 ガリウムヨウ化物ラ...