באזור העיבוד, נורת UV בעלת אור חזק עדיין עלולה לגרום לבעיות. אם החומרים המשמשים להפעלת התהליך אינם מקבלים את האנרגיה הדרושה, התהליך של יצירת קשרים בין החומרים נפגע. התוצאה? כישלון באחיזת החומר, וערימות של חומרים לא מעובדים.
הדרך הטובה ביותר למנוע זאת היא בדיקות תדירות של עוצמת האור, באמצעות סרטי בדיקה פשוטים.
מה באמת חשוב
נורות גז כספית בלחץ בינוני פולטות ספקטרום רחב, עם שיאים באורכי גל של 365 ננומטר ו-385 ננומטר – שיאים אלו מאפשרים את הפעלת החומרים המשמשים להפעלת התהליך.
מה שחשוב לעקוב אחריו אינו רק העובדה שהנורה דלוקה, אלא גם צפיפות האנרגיה שמועברת, ביחידות של mJ/cm², ועוצמת האור בנקודות השונות על המשטח.
עם הזמן, שחיקת האלקטרודות, ערפול הקוורץ והפגיעה במחזירי האור גורמים לירידה בהספק הנורה. ירידה של 15–20% יכולה לפגוע בתהליך העיבוד, גם כשהנורה עדיין דלוקה.
למה זה עובד בפועל
יש לבצע בדיקות עם סרטי בדיקה באותו מיקום, באותה מהירות ובאותה גאומטריה כמו בהפעלה הרגילה של הנורה.
יש לרשום את רמת האנרגיה שמועברת מדי שבוע. כשהערכים מתחילים להשתנות, ניתן לזהות את הזדקנות הנורה ואת פגיעה במחזירי האור, לפני שהדבר ניכר בחומר.
זה מאפשר שמירה על ספקטרום עקבי, יציבות בתהליך העיבוד, ומניעת זמני עצירה. זה גם מאפשר החלפה של הנורות ומחזירי האור על סמך נתונים, ולא על סמך השערות.
כמה פרטים חשובים
סרטי הבדיקה רגישים למרחק, לזווית ולאליינמנטציה של מחזירי האור, לכן יש לוודא שההצבה שלהם תהיה עקבית.
יש להחליף את סרטי הבדיקה בזמן הנכון – התגובה הפוטוכימית שלהם משתנה עם הזמן.
נורות גז כספית בלחץ בינוני פולטות חום רב, לכן יש לוודא שיש זרימת אוויר וקירור תקינים, כדי להגן על הנורה, מחזירי האור והרכיבים האלקטרוניים.
יש להתאים את עוצמת הנורה לזמן הנדרש לתהליך העיבוד. עוצמה גבוהה מדי עלולה לפגוע בשכבות הדקות, ועוצמה נמוכה מדי עלולה לגרום לעיבוד לא מלא.