כיצד להשתמש נכון בנורת UV של 120 וואט לסמ”ר
כאשר אנו יוצרים את נורות ה-UV הסטנדרטיות שלנו, אנו שואפים להשיג עוצמת אנרגיה של 120 וואט לסמ”ר. מספר זה אינו מקרי – זו הערך האופטימלי. זה בדיוק הערך הדרוש כדי שחומרים עבים וקשים לעיבוד יתקשו במהירות, מבלי שהחומר עצמו יימס בטעות.
הקשר בין אנרגיה לאור
כדי להגיע לעוצמה של 120 וואט לסמ”ר, עלינו להכניס כמות גדולה של אנרגיה לחלל קטן מאוד. נורות אלו פועלות על ידי יצירת פסי אור באורכי גל של 254 ננומטר ו-365 ננומטר. אנו משקיעים הרבה זמן בשינוי הלחץ הפנימי וצורת האלקטרודות, כדי שפסי האור האלו יישארו יציבים. למה? כי אם האנרגיה יורדת, זמן ההתקשות של החומר עולה. ואף אחד לא רוצה שהחומר יישאר רטוב למגע לאחר העיבוד.
התמודדות עם החום
בואו נהיה כנים: נורות אלו נהיות חמות מאוד. כדי שהנורה לא תישרף מוקדם מדי, אנו משתמשים בקוורץ מזוקק באיכות גבוהה כחומר המגן על הנורה. חומר זה חזק מספיק כדי לאפשר לאור ה-UV לעבור דרכו, תוך עמידה בעומסי החום הגבוהים.
טיפ חשוב: ודאו שאתם משתמשים במקור אנרגיה יציב. אם המתח ישתנה, גם עוצמת האור תשתנה, וזה יפגע ביעילות העיבוד. שימוש בבלאסט מיוחד הוא הפתרון הטוב ביותר אם רוצים ערך יציב של אנרגיה.
שימוש מעשי והחסרונות
נורות אלו משמשות בעיקר בתהליכי ליתוגרפיה של שבבים או במסלולי ייצור. הן מצוינות, כי בדרך כלל ניתן להחליף אותן במערכות בעלות לחץ בינוני, בלי בעיות.
אך יש חסרון: מכיוון שהאנרגיה מרוכזת מאוד, אי אפשר להניח את הנורה ישירות על החומר. אם עושים זאת, סביר שהחומר יישרף או יצטמק.
ובבקשה, אל תזלזלו בצינון. בין אם אתם משתמשים באוויר או במערכת קירור במים, חייב שהצינון יהיה יעיל מספיק כדי להתמודד עם החום האינפרא-אדום. אם הצינון לא יעיל, חיי הנורה יקוצרו בחצי.